FE-Scanning Electron Microscope

전계방출형 주사 전자현미경 [FE-Scanning Electron Microscope]

시설장비활용번호 : Z-202001217889 (시설장비등록번호 : ZEUS-2020-01-000081)


활용범위 :  공동활용허용    활용대상 :  기관외부활용    예약방법 :  실시간예약    이용방법 :  대여 시료의뢰 직접사용 


문의번호 (광화학 나노소재 전문 핵심연구지원센터)

예약문의 : 055-772-2789

장비활용중계소(ZEUS) : 1670-0925  ※ 운영시간(09:00~18:00)

 

예약단위

  • 예약 기본 시간 : 60
  • 예약 추가 시간 : 0
  • 예약 최대 시간 : 0일 9시간 0
  • 예약 간격 시간 : 0
  • 취소 가능 시간 : 24시간 (이용일시 기준) 이상

이용요금

이용 단가 : 40,000원
이용료 단위 : 시간
이용료 안내 : 직접사용 20,000, 분석의뢰 40,000

공동연구 이용자 사용시 50% 할인 중복 적용 (직접사용의 경우만 적용).
공지사항 중 분석 및 시험장비 이용 수가표 참조.

이용방법
장비담당자와 분석상담 후, 제우스(www.zeus.go.kr)를 통해 회원가입 및 예약신청

장비 A/S 및 수리 내역

2020.05.01 코팅두께가 설정 가능하고 확인이 가능한 Tool 배치

2020.05.11 Platinum Target 사용가능 및 교체

2020.06.30 사용자 불편함 해소를 위한 EDS 위치교환

2020.07.07 Track ball, converter, cable, SP-150-15, supply unit, 펌프체크

2020.09.29 카본테잎을 활용한 샘플 홀딩 및 Au(Gold) 코팅이 가능하게 Gold Target 사용 가능

2020.10.22 필터와 부딪힘에 따른 캘리브레이션 진행

2020.09.01. 챔부내부 오염 제거를 위한 Carbon Contamination Tool 가동 (자체)

2020.11.27 Platinium Target 사용 가능 및 교체

FE-SEM 사용 메뉴얼

관련동영상 FE-SEM 사용방법 동영상